第363章 事成之日我再专程请你喝酒(3/4)
像没有我们想象的那么顺利。”楼向晚虽然不是很专业,但他也是工学人才,基本的情况还是掌握的。
江成只是点点头,“研发一途,本来也不可能轻而易举。”
这不,也正是因为激光器到了,江成这才前来专门闭关研发么?
否则的话,啥都没有,江成就是待在这里也无济于事。
因为euv光刻机也是一样的,那是诸多模块和技术的融合,是顶尖科技中的顶尖。
牵头的主管依旧是连广浩。
他看到江成来了,原本的愁容一下子就涌成了开心的笑,“江董,您来了!”
心头的大石头终于落地了。
江成来了,研发就有希望了。
没办法,这个东西太高深,连广浩虽然也明白一些原理,但真正来看的时候,却是感觉处处达不到自己想要的结果。
江成点点头,“大伙辛苦。现在情况怎么样,直接讲吧。”
“好的。江董,我先说下吧,”连广浩先开了口,“我们本来想这个激光能够按照我们的设想,激发出135n的极紫外光,但无论我们怎么调整电压、频率,两束激光都没法完美产生极紫外光。”
至于产生的别的光,那就是不需要的。
“发出的光,没有一道极紫外光?”江成都感觉有些不可思议,按道理来说,科宇光源的这个激光器,是可以实现的。
剩下的,无非就是通过诸多的反射镜,把不需要的光波过滤掉,把135n的极紫外光留下,通过层层反射,形成纯净的极紫外光,然后用于光刻。
这个过程中,反射镜就非常重要了。
据江成的了解,常春光机所的冼珠峰所长,仍然在磨镜子。
而且激光的能量很高,为了得到这个极紫外光,其他光就要过滤掉,能量就损耗在了镜子上。
如此,散热又成了一个问题。
可以说,在江成的体内模拟室中,可能这些问题都不是太大的问题,但现实里头,这个材料就是达不到理想的效果。
那么就需要大家群策群力,想方设法让他达到预想的目标。
这就是原理很简单,操作却难上天。
但连广浩却是