356章 天壤之别！(3/4)

他也是详细地址说了很多技术上碰到的难点，席海清研制的刻蚀机也是遇到了不少的难题。

瑞星科技公司采用可见光与紫外双光谱探测方法来检测电晕信号的存在并对其进行定位，为了实现非常精准的曝光对焦，公司也是召集了人手研发了电晕探测系统紫外对焦控制模块，为了攻克对焦的双闭环控制过程及其软硬件实现方法，杨杰之前也是提供了一些算法，倒是帮助技术团队找到了对焦控制过程中误差产生的原因，减小紫外对焦系统的对焦误差,使紫外相机像面始终处于焦深之内。

不过现在在测试的过程中光刻机运行时间久了还是出现了对焦成功率下降的原因，现在何玉光也是为这个事情抓狂不已。

“你们有没有想过是热敏电阻元器件的问题？”杨杰开口说道：“刚才何总说是温度升高后精度下降，有很大的原因是跟光刻机缺少高精度的温度测量和控制温度的稳定的系统，想必是热敏电阻在温度升高后出现了恒流源不稳定、电压偏移的情况，造成了精度下降。”

何玉光眼中顿时闪过亮光：“对呀，我怎么没想到？！”

杨杰笑了笑：“我也是提供了一个解决问题的方向，何总回去后让提供热敏电阻的国内厂商让他们生产抗干扰能力和性能稳定的热敏电阻，并让他们提供高精度的温度测量系统，选用合理的数学模型跟热值处理方法。”

杨杰也不会越俎代庖，他知道这两位都是各自领域的专家，有些技术只是提供一个想法他们就茅塞顿开了，剩下的东西只是一个不停验证不停改进的过程，并不需要他太过操心。

不过让他感到惊喜的是在机床研究所的帮助下，刻蚀机设备的进展非常大。

这也难怪，刻蚀机的难度比起光刻机的难度还是要小一些的。

因为席海清在射频电源上有着极深的造诣，这几年在射频电源自动匹配器的算法上有了很大的突破，而且龙芯半导体公司两年多之前从清华大学得到CMOS图像传感器后也是组织了技术团队在这上面进行技术攻关，并且通过日本的研发中心找到了这方面的专家加入了团队，图像传感器技术上也是取得了不小的突破，刻蚀机上面就搭载了高分辨率的传感器，极大地提高了刻蚀机的精度。

杨杰也是好生地勉励了这两位专家跟技术团队一番。