487章 卖断货！(2/4)

加大了研发投入。

现在瑞星科技公司产品线分为PAS系列和XT系列，其中PAS系列光源为高压汞灯光源，这种机型使用了瑞星科技公司自己设计生产的镜组，镜头是三阳光学公司生产提供的，也采用了步进扫描沉浸式技术，因为使用了沉浸式技术，这种波长在365纳米的光源原本极限制程只能达到0.25微米，但是现在可以提升到了120纳米，而且价格只有一千美金！

现在市场上尼康、佳能、艾斯摩尔三家主力都是以氟化氪激光光源为主，极限制程工艺在130纳米，高端的机型是以氟化氩激光光源的光刻机，极限制程工艺在65纳米。

现在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻机极限制程工艺可以达到90纳米，这还是因为工件台的进度不够导致的，如果能把工件台的运动精度控制在2纳米，那么制程工艺可以达到70纳米左右！

瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技术后简直像是一头野蛮的公牛闯进了瓷器店一般，将这个原本只有三家瓜分的光刻机市场是搅得天翻地覆！

去年十月份瑞星科技公司推出的PAS系列机型销售情况十分好，到现在总共是卖出去了五十多台，而且差不多有一大半是海外的客户，而采用氟化氪激光光源的XT系列也是卖出去了三台。

倒不是瑞星科技公司不想卖，而是德国蔡司提供的镜组就只有十几套，剩下的都要留给中晶微和华越电子公司以及华晶集团，实在是没货了。

不过PAS系列的机型因为产能供得上，不过瑞星科技公司现在产能也是很吃紧——人手不够了。

在得知这个消息后，李开元也是格外高兴，“提出沉浸式光刻机技术是你提出来的方案吧，之前几年瑞星科技公司都是不声不响的，现在技术成熟后马上就推出了先进的产品，可以说是彻底地把这个市场格局给改变了，这证明科技创新才是最重要的。”

“是呀，现在瑞星科技公司掌握了光刻机的核心技术，国外对我们在半导体产业的限制是越来越少了。”马秋林笑着说道。

“比起淡马锡集团公司的来访，这个消息意义就更为重大了。”李开元点头道。

“这次中晶微公司收购了特许半导体的两家晶圆厂，还要和特许半导体再合资兴建一座十二寸的晶圆厂，这些晶圆厂的