第1570章 后来者居上(2/4)

用行不行？

反正东芯，又没在157纳米光刻机上投一分钱，又没有沉没成本，根本不怕换了方案之后的损失。再者，周石之前在的45研究所的光刻机团队，为了研发光刻机，是什么法子都试过，所以对于新方案，接受程度更高。

「如果用水作为媒介，那这款使用浸润式方案的光刻机，一旦研发成功，就能把晶片工艺，给推到28纳米！」

周石说出这话时，在场众人都被吓了一大跳，如果真的如此，那这套方案，听起来，比起157纳米光刻机方案，都还要诱人的多。

「如果再配上多重曝光、光刻胶、套刻精度、蚀刻工艺等，那是有机会，把晶片工艺推到10纳米以下的‖」

倪广南也开口说道，大家都是行业内的老炮，最基本的手段，都是门清，只需要一个思路，就能延伸下来。

「如果林博士这套方案可行，那真的是，将改变整个半导体行业的困境！」

黄灵仪也向著林沐坚赞叹道，这种全新的思路方案，不论能不能成，都给了半导体行业一个新的希望。「这不是我的思路！」

林沐坚听到周石、倪广南、黄灵仪等人，将新方案的功劳，推到了他身上，是连连摆手。

「这方案，我只是进行了一些计算，实际上，这是……」

林沐坚看向李东陵，他想说，为光刻机引入水作为媒介，利用水的折射，把193纳米光源变成134纳米，这可是李大善人当年告诉他的。

而林沐坚这几年来，实际上，是对这个方案进行了计算和推演，这套方案，是走了跟日苯干式光刻机不同的路子，变成了浸润式DUV光刻机。

但，如果这方案真成了，这份功劳林沐坚可不敢独揽，尤其是这还是李大善人给他提供的思路。不等林体坚说完，坐在这场学术会议，原本充当小透明的李东陵，这时候开口道。

「林博士这个方案，当年加入东芯时，就跟我提起过。

现在看来，确实是解决半导体困境的新方案！」

李东陵打断了林体坚的话，把功劳，又给推到了他身上，如果DUV光刻机，真研发成功了，那林体坚绝对半导体行业青史留名，成为行业内泰山北斗式的人物，甚至可以说改变了半导体行业的历史发展轨迹。这份名头，对于林沐坚是锦上添花，但对于李大善人来说，真没有什么太大作用。

证明李大善人是个半导体行业的天才，还是惋惜，李大善人入错了行？

李东陵