第457章 震撼人心：ebl光刻机研发成功！(4/6)

了！”郝强走进实验室，向在场的每一位科研人员点头致意，“我先看下数据。”

陈列向董事长递上数据本子，同时介绍测试结果，实验室里充满了欢欣鼓舞的气氛。

这一刻，所有人都深深感受到他们正在参与并见证着一个重要的历史时刻。

陈列激动地介绍道：“董事长，这次测试结果证明，我国自主研发的ebl光刻机已经取得了突破性进展。

其线宽稳定在14n，分辨率和稳定性都达到了国际顶尖水平。

我们装了五台设备，初期良率都达到了80。”

一片12英寸(300)晶圆大约可以切割出160颗青龙8124芯片（车载cu）。

青龙8124芯片的单颗面积约为150平方毫米（长约15毫米，宽约10毫米），一片晶圆面积约为70650平方毫米。

除去切割槽、边缘料角，实际只能切割出400颗芯片（并不是70650/150＝471）。

初期良率为80，实际合格品可能在320颗/晶圆。

一般来说，由于汽车电子对可靠性要求极高，工艺先进且结构复杂，初期良率可能只有50～60，成熟后可提升到70～80已经是非常厉害的了。

而未来科技集团的芯片良率能达到80，主要还是晶圆的纯度高！

当然，ebl光刻机的稳定性也是极关键的。

要是光刻机不稳定，那一颗都不合格。

郝强仔细查看了测试报告，满意地点了点头：“这个成果确实令人振奋。

不过，我们还需要进一步优化和提升，争取把良率提升到90，同时早日达到5n甚至更小的线宽。

要知道，ebl光刻机可以做到1n以下的线宽，我们的晶圆纯度也满足要求。”

“是的，董事长。

我们已经制定了下一步的研发计划，相信在不久的将来，我们就能实现这个目标。“陈列自信地回答。

郝强环视了一圈实验室，看着这群为国家半导体事业奋斗的科研人员，心中充满了感激和敬意。

“各位辛苦了，你们为国家的科技进步作出了巨大贡献。

接下来，