「重生归来:我誓登权力巅峰」

第291章 中微与南大光电联合实验室正式揭牌

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第291章 中微与南大光电联合实验室正式揭牌(2/3)

程师。”

“人才建设也要跟上。”市住建局局长汇报,“专家公寓一期工程年底交付,可提供200套高品质保障。国际学校持续加紧建设,明年秋季能如期开学。”

这个时候中微公司的技术团队传来了一个好消息:光学系统的核心部件已经加工,性能测试达到预期。这意味着28n光刻机的工程样机有望提前完成。

“具体什么时候能出工程机?”李一凡问道。

“按照目前的进度,明年一季度末就能完成。”威廉姆斯说,“比原计划提前了三个月。这主要得益于光刻胶团队的配合,他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。”

“工程机提前完成是个好消息,”王立新说,“我们的光刻胶轮转速也加快了。目前对28n制程的光刻胶已经进行了第三次优化,核心指标非常稳定。”

“详细讲述优化的结果。”李一凡对这些技术细节很感兴趣。

“最大的突破在三个方面。”王立新打开实验数据,“首先是感光性能,能量曝光降低了25,这对提升光刻机的工作效率很关键。其次是均衡性,偏差控制在18n以内,最后这直接影响良率。是储存稳定性,在常温下可以保存3个月不变质。”

“储存性能很重要。”威廉姆斯点头说道,“这意味着我们的产品可以批量供应给客户,而不必担心运输和存储问题。在日本企业的光刻胶中,能达到这个水平的也不少。”

市科技局局长刘青松问道:“这些技术有自主知识产权吗?”

“当然。”王立新说,“我们已经申请了12项核心专利,其中4项是和中微的联合专利。这些专利完全覆盖了28n制程中的关键技术点。”

李一凡对这种合作模式很满意:“这就是我们想要的和谐创新。不是简单的下游满足,而是在核心技术上形成合力。省里给我们500亿投资,就是要支持这样的创新模式。”

正说完成时,南大光电的中试车间传来消息:第一批批量产型光刻胶样品制备,各项指标全部达标。这批样品将用于中微光刻机的工程验证。

“产能建设也要提速了。”王立新说,“我们产业园的一期工程明年3月就能完成。设计产能是月产5吨,完全


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