第131章 产业链布局(2/4)

一起合作，肯定能攻克这个难题！”贾东旭满怀期待地说。

北京电光源研究所的所长很感兴趣，但也提出了困难：“汞灯的寿命和稳定性一直是个问题，要达到光刻机的要求，可不是件容易的事。”

贾东旭点点头：“我知道难，但只要我们齐心协力，肯定能行。我们有一些技术资料可以共享，大家一起想办法。”

于是，双方组建了联合研发小组，日夜攻关。经过无数次的实验和失败，终于在1987年取得了突破，实现了汞灯2000小时的寿命。虽然和同期日本的3000小时还有差距，但已经能满足现阶段光刻机研发的基本需求。

二、精密机械的稳步推进

工作台和对准系统是精密机械部分的核心。上海机床厂在精密制造方面有深厚的底蕴，贾东旭再次来到上海，和上海机床厂商讨建立恒温车间生产气浮导轨的事宜。

“领导，这恒温车间对生产高精度气浮导轨至关重要，只有在稳定的温度环境下，才能保证导轨的精度。咱们一起干，肯定能为光刻机打造出最精准的‘脚’！”贾东旭充满激情地说道。

上海机床厂的领导被贾东旭的热情和诚意打动，决定全力支持。从车间的设计建设到设备的安装调试，每一个环节都严格把关。

1988年，恒温车间正式投入使用，生产出的气浮导轨定位精度达到了±002μ。虽然离最终目标还有一点距离，但这已经是国内精密机械制造领域的一次重大突破。

对准系统的关键在于d图像传感器。贾东旭来到西安光机所，寻求合作。“所长，这光刻机的对准系统就靠这d图像传感器了，你们所在光学成像方面技术领先，一定要帮我们这个忙！”贾东旭急切地说。

西安光机所的所长表示愿意合作，但也坦言：“这高精度的d图像传感器研发难度很大，我们需要时间和资源。”

贾东旭马上承诺：“资源方面我们全力支持，时间上我们也会合理安排，大家一起努力，攻克这个难关。”

经过几年的努力，1989年，西安光机所成功开发出满足要求的d图像传感器，实现了±015μ的对准精度，为光刻机的精密机械部分又添上了重要的一笔。

三、控制