第224章 让全球意外的重磅成果【求订阅】(5/5)

光源技术高效许多。」

「简直是在做梦。」

凡是抽调进光刻机专项研究组的成员，都属于两个光机所内的优秀科研人员，对极紫外光源的好处无比清楚。

但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源，在几个月前对国内方面来说，还是可望而不可及的遥远存在，只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。

可此刻在微电子装备总部实验室内，却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。

毫不夸张的讲，这项成果无论放在哪里，都是地震。

足以让全世界感到吃惊。

待众人的情绪逐渐平复下来，贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍收回目光，才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。

「太让人惊喜了，采用新理论得到的极紫外光，已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」

「解决高端光刻机的核心光源系统，接下来我们的国产光刻机研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」

「我提议应该立刻向外界宣布此消息，让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」

对此旁边的丁顺安也没保持沉默，闻言虽不愿意破坏眼下的气氛，但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。

「可惜输出的极紫外光，只稳定在50瓦，距离商用所需的250瓦还有差距，不过毕竟是首次进行验证实验，这个结果已经远远超出预计了。

徐铭对此次验证的成功并不意外，就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。

主要今天的实验，核心挑战是新理论方法，是否能稳定输出极紫外光，事实证明他的设想是非常成功的，要确定了这件事之后才能解决功率问题。

于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久，他当即主动开口回应上一句，并未在这个时候还故意去卖关子。

「关于光源的功率问题，可以通过将光源靶盘设计成多环结构，让多路雷射同时激发来提升，应该能够满足商用的250瓦功率。」