第129章 开启光刻之路(2/3)

的光刻光源，技术相对稳定，能够满足现阶段的研发需求。

“这些参数虽然不是最顶尖的，但对于我们来说，已经是一个很好的了。”贾东旭自言自语道，眼神中透露出坚定的信念。

2系统技术包

有了明确的技术定位，接下来就是如何实现这些目标。幸运的是，系统为贾东旭提供了一系列强大的技术包，涵盖了光学系统、机械系统和控制系统等光刻机的核心部件。

-光学系统：

-提取1986年蔡司镜头设计图纸（na=042）；

-提供多层抗反射膜镀膜工艺。

光学系统是光刻机的核心之一，直接影响着光刻机的分辨率和成像质量。系统提取的1986年蔡司镜头设计图纸，让贾东旭如获至宝。蔡司作为全球光学领域的巨头，其镜头设计技术一直处于世界领先水平。有了这份图纸，贾东旭在光学系统的研发上就有了坚实的基础。同时，系统提供的多层抗反射膜镀膜工艺，能够有效减少光线反射，提高光学系统的效率和成像质量，进一步提升了光刻机的性能。

“这蔡司镜头设计图纸和多层抗反射膜镀膜工艺，简直就是雪中送炭啊！”贾东旭兴奋地说道，仿佛已经看到了成功的曙光。

-机械系统：

-输出高精度气浮工作台技术（定位精度±001μ）；

-提供精密温控方案（±001c）。

机械系统的精度和稳定性对于光刻机同样至关重要。高精度气浮工作台技术，能够实现晶圆的高精度定位和运动，定位精度达到了±001μ，这在当时是非常先进的技术水平。精密温控方案则能够保证光刻机在工作过程中，各个部件的温度稳定在±001c的范围内，避免因温度变化而导致的机械变形和精度下降。

“有了这两项技术，机械系统的问题就能迎刃而解了。”贾东旭对机械系统的研发充满了信心。

-控制系统：

-引入基于处理器的运动控制算法；

-提供自动对准系统（overy精度±01μ）。

控制系统是光刻机的大脑，负责协调各个部件的工作，实现光刻过程的自动化和高精度控制